防串扰红外探测器像元结构及其制备方法

摘要

本发明提供了一种防串扰红外探测器像元结构及其制备方法，通过在红外探测结构的边缘设置凹槽结构，利用凹槽结构来吸收和反射入射到凹槽结构侧壁的红外光，从而防止入射的红外光进入到其它像元结构中，避免了像元之间的相互串扰，提高了器件的灵敏度和准确度。

主权项

一种防串扰红外探测器像元结构，位于一硅衬底上，其特征在于，所述防串扰红外探测器像元结构具有红外探测结构，所述红外探测结构边缘区域具有凹槽结构，凹槽结构用于吸收和反射入射到凹槽结构侧壁的红外光。