| 摘要 |
세정 장치 배액에서의 레지스트 등의 분해를 도모하는 배액 저류부이고, 세정을 정지하고 있을 때에도 상기 분해를 효과적으로 행하는 것을 가능하게 한다.황산 용액을 전해해서 과황산을 생성하는 전해부와, 전해된 황산 용액을 저류하는 전해액 저류부와, 전해부와 전해액 저류부 사이에서 황산 용액을 순환시키는 제 1 순환 라인과, 과황산을 포함하는 상기 황산 용액을 이용하여 피세정재를 세정하는 세정 장치와, 세정 장치에서 사용되는 황산 용액을 가열하는 가열부와, 세정 장치에서 사용된 황산 용액을 저류하는 배액 저류부와, 전해부에서 전해된 황산 용액을 상기 가열부를 통해서 상기 세정 장치에 송액하고 상기 세정 장치에서 세정에 사용한 황산 용액을 상기 배액 저류부를 통해서 환류시키는 제 2 순환 라인과, 상기 전해부에서 전해된 황산 용액을 세정 장치를 통하지 않고 상기 배액 저류부에 송액하고 환류시키는 제 3 순환 라인을 구비한다. |
