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MIM-Kapazität (1) zur Rissdetektierung umfassend eine erste Metallschicht (2), eine Isolationsschicht (3) und eine zweite Metallschicht (4), wobei die Isolationsschicht (3) zwischen der ersten Metallschicht (2) und der zweiten Metallschicht (4) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet dass die Isolationsschicht (3) eine Bruchzähigkeit kleiner 2MPa ˆšm aufweist. |
