一种多晶硅生产系统质量评价装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产系统质量评价装置，包括一对棒评价炉、进料控制模块、混合气电加热模块、电源系统、预热系统以及传动系统，采用西门子法生产一对棒产品快速便捷检测多晶硅生产系统特别是电子级多晶硅生产系统中原料纯度等质量参数，自动化水平高，可操作性强，可以多套批量用于多晶硅生产企业的生产流程中，有效提高生产效率。

主权项

一种多晶硅生产系统质量评价装置，其特征在于，包括一对棒评价炉、进料控制模块、混合气电加热模块、电源系统、预热系统以及传动系统；所述进料控制模块的输入端连接来自多晶硅生产系统中罐区的三氯氢硅和氢气，所述进料控制模块的输出端连接所述混合气电加热模块的输入端，所述混合气电加热模块的输出端连接所述一对棒评价炉的反应气体出气管口，所述一对棒评价炉的反应气体出气管口连接尾气回收系统或废气洗涤系统，所述电源系统连接所述混合气电加热模块以及所述一对棒评价炉的一对电极，所述预热系统安装在所述一对棒评价炉顶部，所述传动系统连接所述预热系统以及所述一对棒评价炉。