| 摘要 |
【課題】分岐から合波までの間の光損失を小さく且つ干渉効率を改善するＭＥＭＳによる光干渉計を提供する。【解決手段】光干渉計１Ａは、分岐合波部１０、第１光学系２０、第２光学系３０および駆動部４０を備え、ＭＥＭＳにより構成され得る。分岐合波部１０は、透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面１１，入射面１２，出射面１３および合波面１４を有する。分岐合波部１０は、分岐面１１において、入射光Ｌ０の一部を反射させて第１分岐光Ｌ１１として出射させるとともに、残部を第２分岐光Ｌ２１として内部へ透過させる。分岐合波部１０は、合波面１４において、第１分岐光Ｌ１２を外部へ出射させるとともに、第２分岐光Ｌ２２を反射させて、両光を合波して合波光Ｌ３として外部へ出射させる。【選択図】図３ |
