发明名称 THERMAL SPRAY MATERIAL THERMAL SPRAY COATING AND THERMAL SPRAY COATED ARTICLE
摘要 내플라즈마 침식성에 추가해서, 기공률이나 경도 등의 특성이 우수한 용사 피막을 형성할 수 있는 용사용 재료를 제공한다. 여기에 개시되는 기술에 의하면, 용사용 재료가 제공된다. 이러한 용사용 재료는, 구성 원소로서 희토류 원소(RE), 산소(O) 및 할로겐 원소(X)를 포함하는 희토류 원소 옥시할로겐화물(RE-O-X)을 포함한다. 그리고 그 용사용 재료의 X선 회절 패턴에 있어서의, 희토류 원소 옥시할로겐화물의 메인 피크의 피크 강도 I에 대한, 희토류 원소 산화물의 메인 피크의 피크 강도 I와, 희토류 원소 할로겐화물의 메인 피크의 피크 강도 I의 합계의 강도비[(I+I)/I]가 0.02 미만인 것에 의해 특징지어진다.
申请公布号 KR20160131917(A) 申请公布日期 2016.11.16
申请号 KR20160054486 申请日期 2016.05.03
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED;FUJIMI INCORPORATED 发明人 NAGAYAMA NOBUYUKI;IBE HIROYUKI;TSUZUKI KAZUYUKI
分类号 C04B35/515;C04B35/50;C04B41/87;C04B41/88 主分类号 C04B35/515
代理机构 代理人
主权项
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