| 发明名称 | 研磨用组合物 | ||
| 摘要 | 本发明的研磨用组合物含有羟乙基纤维素、水和磨粒，所述羟乙基纤维素的分子量为50万以上且150万以下，被磨粒吸附的羟乙基纤维素的比例为30％以上且90％以下。 | ||
| 申请公布号 | CN106133106A | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
| 申请号 | CN201580017780.3 | 申请日期 | 2015.03.30 |
| 申请人 | 霓达哈斯股份有限公司 | 发明人 | 寺本匡志;中内辰哉;杉田规章;羽场真一;宫本明子 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 宋融冰 |
| 主权项 | 一种研磨用组合物，含有羟乙基纤维素、水和磨粒，所述羟乙基纤维素的分子量为50万以上且150万以下，被所述磨粒吸附的羟乙基纤维素的比例为30％以上且90％以下。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||