发明名称 |
一种真空设备的基板加热台 |
摘要 |
一种真空设备的基板加热台。它主要是解决现有工艺繁琐、生产效率低和产品质量不稳定等技术问题。其技术方案要点是:包括加热平板(1)、加热底板(2)、加热台支柱(3)、镀膜挡板(7)、屏蔽板框(8)、电极引入件(9)、辅助加热器(10)、外圈加热器(11)、内圈加热器(12)和升降架(13),所述加热台支柱(3)上依次设有加热平板(1)和加热底板(2),加热平板(1)和加热底板(2)中间设有外圈加热器(11)和内圈加热器(12),四周设有辅助加热器(10),加热平台一侧连接有电极引入件(9),所述加热平台周围设有屏蔽板框(8)。它主要是应用于真空玻璃生产和制备。 |
申请公布号 |
CN106119811A |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
CN201610763502.9 |
申请日期 |
2016.08.30 |
申请人 |
湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
发明人 |
周毅;李国强 |
分类号 |
C23C16/46(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/46(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种真空设备的基板加热台,其特征是:它包括加热平板(1)、加热底板(2)、加热台支柱(3)、中屏蔽板(4)、屏蔽板支柱(5)、镀膜挡板(7)、屏蔽板框(8)、电极引入件(9)、辅助加热器(10)、外圈加热器(11)、内圈加热器(12)和升降架(13),所述加热台支柱(3)、屏蔽板支柱(5)和屏蔽板框(8)安装在真空设备的腔室(14)上,所述屏蔽板支柱(5)高度小于加热台支柱(3),且设有中屏蔽板(4);所述加热台支柱(3)上依次设有加热平板(1)和加热底板(2),加热平板(1)和加热底板(2)中间设有外圈加热器(11)和内圈加热器(12),四周设有辅助加热器(10),形成一个加热平台,加热平台一侧连接有电极引入件(9),所述加热平台周围设有屏蔽板框(8),屏蔽板框(8)上设有镀膜挡板(7)。 |
地址 |
411100 湖南省湘潭市九华经济区金井路(原大众东路)2号 |