发明名称 |
1064nm增强型Si‑PIN光电探测器及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种1064nm增强型Si‑PIN光电探测器,该光电探测器由N型衬底层、P+区、黑硅层、N+区、钝化膜、增透膜、P电极和N电极组成;本发明还公开了前述光电探测器的制作方法;本发明的有益技术效果是:该1064nm增强型Si‑PIN光电探测器在1064nm波长处的响应度达到0.6A/W,比普通器件响应度提高了一倍,同时还具有成本低、易于集成、响应速度快和响应度高、稳定可靠等特点,在大规模市场化方面具有显著的优势。 |
申请公布号 |
CN106129145A |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
CN201610538986.7 |
申请日期 |
2016.07.11 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
发明人 |
黄烈云;廖乃镘;罗春林;王艳 |
分类号 |
H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/105(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0352(2006.01)I |
代理机构 |
重庆辉腾律师事务所 50215 |
代理人 |
侯懋琪;侯春乐 |
主权项 |
一种1064nm增强型Si‑PIN光电探测器,其特征在于:所述1064nm增强型Si‑PIN光电探测器由N型衬底层(1)、P+区(2)、黑硅层(3)、N+区(4)、钝化膜(5)、增透膜(6)、P电极(7)和N电极(8)组成;所述P+区(2)形成于N型衬底层(1)的正面;所述黑硅层(3)形成于N型衬底层(1)的背面;所述增透膜(6)覆盖在P+区(2)表面,增透膜(6)上设置有P电极孔,P电极(7)设置于P电极孔内并与P+区(2)接触;所述N+区(4)覆盖在黑硅层(3)表面;所述钝化膜(5)覆盖在N+区(4)表面,钝化膜(5)上设置有N电极孔,N电极(8)设置于N电极孔内并与N+区(4)接触;所述P+区(2)形成有源区。 |
地址 |
400060 重庆市南岸区花园路14号电子44所 |