| 发明名称 |
SELECTIVE DEPOSITION OF THIN FILM DIELECTRICS USING SURFACE BLOCKING CHEMISTRY |
| 摘要 |
제 2 기판 표면에 비해 제 1 기판 표면 상으로 필름을 선택적으로 증착시키는 방법들. 방법들은 하이드록실-말단들을 포함하는 기판 표면을 실릴아민으로 침지시켜 실릴 에테르-말단들을 형성시키고 실릴 에테르-말단화된 표면 이외의 표면 상에 필름을 증착시키는 것을 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160130165(A) |
申请公布日期 |
2016.11.10 |
| 申请号 |
KR20160053287 |
申请日期 |
2016.04.29 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
THOMPSON DAVID;SALY MARK;BHUYAN BHASKAR JYOTI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/02;H01L21/70 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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