一种3轴平面对位平台

摘要

本发明公开了一种3轴平面对位平台，包括：底座、工作台面、设置于底座上的第一移动单元模组、第二移动单元模组及第三移动单元模组，工作台面由移动单元模组支承；第一、第二、第三移动单元模组均包括基板、下支承座、压电马达、驱动片、上支承座、支承连接部，上支承座的移动方向与下支承座的移动方向垂直；第一移动单元模组的下支承座与第二移动单元模组的下支承座的移动方向相同；第三移动单元模组的下支承座的移动方向垂直于第一、第二移动单元模组的下支承座的移动方向。本发明对位平台的对位精度高，且体积更小巧。

主权项

一种3轴平面对位平台，包括：底座、工作台面、设置于所述底座上的第一移动单元模组、第二移动单元模组及第三移动单元模组，所述工作台面由移动单元模组支承；其特征在于：第一移动单元模组、第二移动单元模组及第三移动单元模组均包括：固设于所述底座上的基板；可沿直线往复移动地设置于所述基板上的下支承座；设置于所述基板上的压电马达，所述压电马达与所述下支承座相对布置；驱动片，所述驱动片设置于所述下支承座的与所述压电马达相对的侧面上，所述压电马达的驱动足与所述驱动片相接触、并驱动所述下支承座移动；可沿直线往复移动地设置于所述下支承座上的上支承座，所述上支承座的移动方向与所述下支承座的移动方向垂直；可绕自身轴线转动地设置于所述上支承座上的支承连接部，所述支承连接部与所述工作台面相连；所述第一移动单元模组的下支承座与第二移动单元模组的下支承座的移动方向相同，所述第三移动单元模组的下支承座的移动方向垂直于所述第一、第二移动单元模组的下支承座的移动方向。