发明名称 |
压电元件、压电致动器装置、液体喷射头、液体喷射装置以及超声波测定装置 |
摘要 |
一种压电元件,其中在基板(10)上依次层叠有第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80),所述压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成,其中构成压电体层(70)的晶体具有四方结构,并且所述晶体沿基板(10)是{100}取向,并且其中相对于层叠方向垂直的具有(100)面的区域和具有(001)面的区域在所述晶体的晶格内是混合的。 |
申请公布号 |
CN106103100A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201580013130.1 |
申请日期 |
2015.03.18 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
米村贵幸;板山泰裕;小岛力 |
分类号 |
B41J2/14(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I |
主分类号 |
B41J2/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
蔡胜有;冷永华 |
主权项 |
一种压电元件,包括:基板;设置在所述基板上的第一电极;压电体层,所述压电体层设置在所述第一电极上并且由含有Pb、Nb和Ti的具有钙钛矿结构的复合氧化物的晶体构成;以及设置在所述压电体层上的第二电极,其中所述晶体具有四方结构并且沿所述基板是{100}取向,并且具有(100)面的区域和具有(001)面的区域在所述晶体的晶格内是混合的,所述具有(100)面的区域和所述具有(001)面的区域相对于所述第一电极、所述压电体和所述第二电极的层叠方向是垂直的。 |
地址 |
日本东京都 |