发明名称 压电元件、压电致动器装置、液体喷射头、液体喷射装置以及超声波测定装置
摘要 一种压电元件,其中在基板(10)上依次层叠有第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80),所述压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成,其中构成压电体层(70)的晶体具有四方结构,并且所述晶体沿基板(10)是{100}取向,并且其中相对于层叠方向垂直的具有(100)面的区域和具有(001)面的区域在所述晶体的晶格内是混合的。
申请公布号 CN106103100A 申请公布日期 2016.11.09
申请号 CN201580013130.1 申请日期 2015.03.18
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 米村贵幸;板山泰裕;小岛力
分类号 B41J2/14(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I 主分类号 B41J2/14(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 蔡胜有;冷永华
主权项 一种压电元件,包括:基板;设置在所述基板上的第一电极;压电体层,所述压电体层设置在所述第一电极上并且由含有Pb、Nb和Ti的具有钙钛矿结构的复合氧化物的晶体构成;以及设置在所述压电体层上的第二电极,其中所述晶体具有四方结构并且沿所述基板是{100}取向,并且具有(100)面的区域和具有(001)面的区域在所述晶体的晶格内是混合的,所述具有(100)面的区域和所述具有(001)面的区域相对于所述第一电极、所述压电体和所述第二电极的层叠方向是垂直的。
地址 日本东京都