表面性状指标化装置、表面性状指标化方法以及程序

摘要

利用基于多个照明波长、测定角度的测定结果来将测定对象物的表面性状统一地指标化。本发明所涉及的表面性状指标化装置具备：测定装置，其通过一边选择波长一边拍摄照明光在测定对象物的表面处的反射光，来生成多个摄像图像；以及运算处理装置，其基于所得到的多个摄像图像来将测定对象物的表面性状指标化。由测定装置生成的摄像图像是成像于摄像装置的反射光的波长相同、并且成像于摄像装置的反射光的反射角在摄像图像中的与测定对象物的长度方向对应的方向上互不相同的图像。运算处理装置通过重构所生成的多个摄像图像来生成多个处理对象图像，并基于所生成的多个处理对象图像来将测定对象物的表面性状指标化，其中，该处理对象图像是由反射光的波长彼此相同且反射光的反射角彼此相同、且与测定对象物的不同的视野位置对应的像素构成的。

主权项

一种表面性状指标化装置，具备：测定装置，其对测定对象物的表面照射照明光，一边选择波长一边拍摄所述照明光在所述测定对象物的表面的反射光，来生成多个摄像图像；以及运算处理装置，其基于由所述测定装置生成的多个摄像图像来将所述测定对象物的表面性状指标化，其中，所述测定装置具有：照明光源，其对所述测定对象物的表面照射所述照明光；摄像装置，其拍摄来自所述测定对象物的表面的所述反射光；以及波长选择机构，其选择要成像于所述摄像装置的所述反射光的波长，由所述摄像装置生成的所述摄像图像是成像于所述摄像装置的所述反射光的波长相同、且成像于所述摄像装置的所述反射光的反射角在该摄像图像中的与所述测定对象物的长度方向对应的方向上互不相同的图像，在所述测定装置中，针对所述测定对象物的同一视野生成与多个不同的波长分别对应的多个所述摄像图像，并且一边使所述视野偏移一边依次生成所述多个摄像图像，从而生成多组所述多个摄像图像，所述运算处理装置具有：图像重构部，其通过使用多组所述多个摄像图像进行重构，来针对所述反射光的波长与所述反射光的反射角的每个组合生成处理对象图像，其中，该处理对象图像是由所述反射光的波长彼此相同且所述反射光的反射角彼此相同、且与所述测定对象物的不同的视野位置对应的像素构成的；以及表面性状指标化部，其基于由所述图像重构部生成的多个所述处理对象图像来将所述测定对象物的表面性状指标化。