一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品

摘要

本发明公开了一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品，包括导体样品，所述导体样品的表面包覆有纳米级厚度的致密固态惰性膜，该固态惰性膜可以是导体膜、也可以是绝缘的电介质膜，它们都可以被用来防止样品表面的无规氧化，有利于原子力显微镜、磁力显微镜、扫描隧道显微镜等扫描探针显微镜的测量；而绝缘的电介质膜更可以防止电流测试时的探针与样品间短路现象的发生，尤其适用于扫描隧道显微镜。本发明成本低廉且操作简单，室温大气环境SPM技术人员即可对覆膜样品进行直接测试。

主权项

一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品，包括导体样品，其特征在于：所述导体样品的表面包覆有纳米级厚度的致密固态惰性膜。