发明名称 |
用于聚合物表面与载体的受控粘结的制品和方法 |
摘要 |
具有聚合物粘结表面、载体和等离子体聚合的表面改性层的基材,所述聚合物粘结表面具有第一表面能,所述玻璃粘结表面具有第二表面能,所述等离子体聚合的表面改性层使得所述聚合物粘结表面与所述玻璃粘结表面可脱离地粘结。可以在粘结之前形成等离子体聚合层从而降低玻璃粘结表面的表面能。并且在温度为120℃的环境中经受1小时真空退火之后,基材是可以从载体非损坏性脱粘结的。 |
申请公布号 |
CN106104778A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201580016043.1 |
申请日期 |
2015.01.27 |
申请人 |
康宁股份有限公司 |
发明人 |
R·A·贝尔曼;R·G·曼利;P·马宗达;K·L·西蒙敦 |
分类号 |
H01L21/58(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/58(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
徐鑫;项丹 |
主权项 |
一种将基材与载体可控粘结的方法,所述方法包括:获得具有聚合物粘结表面的基材,所述聚合物粘结表面具有第一表面能;获得具有玻璃粘结表面的载体,所述玻璃粘结表面具有第二表面能;将表面改性层沉积到所述玻璃粘结表面上,从而降低所述玻璃粘结表面的表面能;以及使得所述聚合物粘结表面与所述玻璃粘结表面经由所述表面改性层粘结,其中,在温度为120℃的环境中经受1小时真空退火之后,所述基材是可以从所述载体非损坏性脱粘结的。 |
地址 |
美国纽约州 |