发明名称 WIRE BONDING APPARATUS COMPRISING AN OSCILLATOR MECHANISM
摘要 와이어 접합 장치는 모세관을 포함하는 초음파 트랜스듀서, 상기 초음파 트랜스듀서가 연결되는 제 1 측부를 갖는 가요성 연결 프레임, 상기 제 1 측부 반대편인 상기 가요성 연결 프레임의 제 2 측부에 연결되고 길이방향의 작동 방향을 갖는 적어도 하나의 전기 구동식 액추에이터를 포함한다. 상기 가요성 연결 프레임에 위치한 세장형 슬릿은 슬릿의 일 단부에 인접한 적어도 하나의 피봇 지점을 형성하기 위하여 적어도 하나의 액추에이터의 작동 방향을 실질적으로 가로질러 연장되고, 상기 가요성 연결 프레임이 상기 적어도 하나의 액추에이터에 의해서 구동될 때 상기 슬릿 주위로 회전가능하다.
申请公布号 KR101674400(B1) 申请公布日期 2016.11.09
申请号 KR20150104142 申请日期 2015.07.23
申请人 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 发明人 송 켕 예우;관 카 슁;장 유에;선 얀 동;첸 샤오 리앙
分类号 H01L23/00;B23K20/10 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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