光刻系统

摘要

本申请公开了一种光刻系统，包括光源、以及沿光路方向依次设置的空间光调制器、第一分光器件、双远心光学系统和光刻平台，所述双远心光学系统由沿光路方向依次设置的镜筒透镜和物镜组成，所述镜筒透镜和物镜之间光线为非平行光，所述物镜与调焦装置连接，该调焦装置带动所述物镜移动以实现焦距调节。本发明光刻系统优点至少包括：在主光路中无分光器件，成像质量好；检测系统中全部由成像光学元件组成，检测光斑投射在工件表面的尺寸较大，不容易受到灰尘和颗粒影响；检测系统和调焦系统采用机械切换方式，光路结构简单，操作方便。

主权项

一种光刻系统，其特征在于，包括光源、以及沿光路方向依次设置的空间光调制器、第一分光器件、双远心光学系统和光刻平台，所述双远心光学系统由沿光路方向依次设置的镜筒透镜和物镜组成，所述物镜与调焦装置连接，该调焦装置带动所述物镜移动以实现焦距调节。