| 发明名称 | 加热器单元和热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供加热器单元和热处理装置。热处理装置(10)包括热处理炉(1)、热源(21)、透光构件(3)和气体流通机构(4)。热处理炉(1)收容被处理件。热源(21)使用放射红外线的热源。透光构件(3)与热源(21)相对配置，把热源(21)与气氛隔离。透光构件(3)由使从热源(21)放射的红外线的至少一部分透过的材料制成。气体流通机构(4)构成为使冷却气体在形成于热源(21)和透光构件(3)之间的空间(300)中流通。 | ||
| 申请公布号 | CN106102189A | 申请公布日期 | 2016.11.09 |
| 申请号 | CN201610423627.7 | 申请日期 | 2013.07.09 |
| 申请人 | 光洋热系统株式会社 | 发明人 | 中西识;藤田翁堂;福田洋人;巽智彦 |
| 分类号 | H05B3/06(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H05B3/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 周善来;李雪春 |
| 主权项 | 一种加热器单元，其特征在于，所述加热器单元包括：热源，放射红外线；板状的透光构件，使所述红外线的至少一部分透过，以所述透光构件的厚度方向上的一方的透光面与所述热源相对的方式配置，把所述热源与气氛隔离；以及气体流通机构，使冷却气体在形成于所述热源和所述透光构件之间的空间中流通，所述气体流通机构具有与所述空间连接的气体导入口和气体排出口，所述气体导入口和所述气体排出口在沿着所述一方的透光面的方向上配置在比所述热源更靠外侧的位置，所述气体流通机构通过所述气体导入口将所述冷却气体导入所述空间内，并且使所述冷却气体沿着所述一方的透光面在所述空间内从所述气体导入口侧向所述气体排出口侧流通。 | ||
| 地址 | 日本奈良县 | ||