发明名称 一种太阳能电池片的生产工艺
摘要 本发明公开了一种太阳能电池片的生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:硅片的检测、表面制绒、清洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜、丝网印刷、烧结和镀反射膜,本发明通过采用特殊的表面制绒、扩散制结的生产工艺,从而增加了太阳能电池片的光能利用率;本发明还通过增加了背面镀反射膜工艺,从而使透过太阳能电池片的光线,重新被二次利用,进而增加了太阳能电池片的光能利用率。
申请公布号 CN106098860A 申请公布日期 2016.11.09
申请号 CN201610739116.6 申请日期 2016.08.27
申请人 浙江中晶新能源有限公司 发明人 赵华飞
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/056(2014.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 代理人 韩洪
主权项 一种太阳能电池片的生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:a)硅片的检测:首先来料硅片的表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹进行检测;b)表面制绒:将步骤a)检测合格的硅片放入制绒溶液中,进行表面腐蚀制绒;c)清洗:将步骤b)表面制绒后的硅片放入HCl和HF的混合溶液中进行清洗;d)扩散制结:将步骤c)清洗后的硅片放入扩散炉中进行扩散制结;e)去磷硅玻璃:将步骤d)扩散制结后的硅片,放入HF酸中浸泡,以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃;f)等离子刻蚀:将步骤e)处理过后的硅片,进行等离子刻蚀处理,以去除硅片边缘的PN结;g)镀减反射膜:将步骤f)等离子刻蚀处理后的硅片,在PECVD设备上,镀一层减反射膜;h)丝网印刷:将步骤g)做镀减反射膜处理后的硅片,在丝网印刷上制备正负电机;i)烧结:将步骤h)丝网印刷后的硅片,放入烧结炉中做烧结处理,从而得到粗制太阳能电池片;j)镀反射膜:将步骤i)粗制太阳能电池片的背面电极的一面,镀一层银反射膜,并淋层保护漆,从而得到太阳能电池片。
地址 314300 浙江省嘉兴市海盐县西塘桥街道(海盐经济开发区)银滩路383号1幢、2幢