| 发明名称 | 一种环境传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种环境传感器及其制造方法，在所述衬底上还设置有至少一个参考电容器、至少一个检测电容器；其中，所述检测电容器包括检测固定电极以及与外界环境连通的检测敏感膜，所述检测敏感膜与衬底之间形成了密封的第一腔体；所述参考电容器包括参考固定电极、参考敏感膜，所述参考敏感膜与衬底之间形成了密封的第二腔体；所述第一腔体与第二腔体连通；还包括用于隔绝参考敏感膜与外界环境的盖体，所述盖体与参考敏感膜围成了密封的第三腔体；所述第一腔体、第二腔体、第三腔体为非真空环境。本发明的环境传感器，检测电容器与参考电容器可以构成真正意义上的差分电容结构，提高了环境传感器的检测精度。 | ||
| 申请公布号 | CN106092153A | 申请公布日期 | 2016.11.09 |
| 申请号 | CN201610605697.4 | 申请日期 | 2016.07.28 |
| 申请人 | 歌尔股份有限公司 | 发明人 | 周宗燐;詹竣凯;邱冠勋;蔡孟锦 |
| 分类号 | G01D5/241(2006.01)I | 主分类号 | G01D5/241(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人 | 王昭智;马佑平 |
| 主权项 | 一种环境传感器，其特征在于：包括衬底(1)，在所述衬底(1)上还设置有至少一个参考电容器、至少一个检测电容器；其中，所述检测电容器包括检测固定电极(9)以及与外界环境连通的检测敏感膜(11)，所述检测敏感膜(11)与衬底(1)之间形成了密封的第一腔体(10)；所述参考电容器包括参考固定电极(6)、参考敏感膜(7)，所述参考敏感膜(7)与衬底(1)之间形成了密封的第二腔体(8)；所述第一腔体(10)与第二腔体(8)连通；还包括用于隔绝参考敏感膜(7)与外界环境的盖体，所述盖体与参考敏感膜(7)围成了密封的第三腔体(12)；所述第一腔体(10)、第二腔体(8)、第三腔体(12)为非真空环境。 | ||
| 地址 | 261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号 | ||