发明名称 |
石墨烯光电探测器 |
摘要 |
本实用新型公开了一种石墨烯光电探测器。该探测器的结构从上至下依次包括:金/镍层作为源极和漏极连接外部电路;石墨烯作为电子传输层;二氧化硅作为绝缘介质层;半导体纳米结构作为光吸收载体;硅衬底作为栅电极。该探测器的工作波段可依据采用半导体纳米结构的种类,尺寸等进行有效调控,且同时拥有优异的光灵敏度,响应时间快,成功地突破了石墨烯光电器件在超高速、超灵敏度响应,以及不同需求响应波段范围三者性能之间的瓶颈。此外,该探测器制备工艺简单,且与现今硅技术和半导体纳米结构的制备技术完全兼容。 |
申请公布号 |
CN205680694U |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201620536694.5 |
申请日期 |
2016.06.03 |
申请人 |
泰州巨纳新能源有限公司 |
发明人 |
梁铮;倪振华;丁荣;梁贺君;陈谷一;袁文军;王阳晖 |
分类号 |
H01L31/112(2006.01)I;H01L31/0328(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I |
主分类号 |
H01L31/112(2006.01)I |
代理机构 |
北京文苑专利代理有限公司 11516 |
代理人 |
王炜 |
主权项 |
一种石墨烯光电探测器,其特征在于,源极和漏极连接外部电源,1层或1层以上的石墨烯电子传输层设置在绝缘介质层之上;绝缘介质层下方依次设有半导体纳米结构层和栅电极层;所述半导体纳米结构层为1层或1层以上;所述漏极和栅电极层通过栅电源连接。 |
地址 |
225300 江苏省泰州市凤凰西路168号 |