반도체 소자를 제공한다. 이 반도체 소자는 반도체 기판 상에 배치되는 활성 영역을 포함한다. 상기 활성 영역은 복수의 돌출부들 및 복수의 리세스 영역들을 포함한다. 상기 활성 영역의 상기 복수의 돌출부들과 중첩하며 서로 동일한 폭을 갖는 복수의 패턴들이 배치된다. 상기 리세스 영역들 상에 복수의 반도체 구조체들이 배치된다. 상기 리세스 영역들은 서로 인접하며 서로 다른 깊이의 제1 리세스 영역 및 제2 리세스 영역을 포함한다. 상기 복수의 반도체 구조체들은 상기 제1 리세스 영역 상에 배치되는 제1 반도체 구조체 및 상기 제2 리세스 영역 상에 배치되며 상기 제1 반도체 구조체와 다른 폭을 갖는 제2 반도체 구조체를 포함한다.
