发明名称 |
一种玻璃面板镀膜层及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及玻璃面板镀膜的技术领域,更具体地,涉及一种玻璃面板镀膜层及其制备方法。本发明公开一种玻璃面板表面有机金属气相化学沉积(MOCVD)高硬镀膜技术。其特征在于:在玻璃面板表面采用MOCVD技术,高速沉积微纳晶氧化铝薄膜,生长温度300‑600度。本发明的优点:制备的氧化铝薄膜具有高硬度,大大提高玻璃面板的耐刮划性能,本发明专利将提高移动终端,平板显示等电子设备屏幕的耐磨特性,有望获得广泛应用。 |
申请公布号 |
CN106086814A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201610447128.1 |
申请日期 |
2016.06.17 |
申请人 |
中山大学;深圳业际光电有限公司 |
发明人 |
裴艳丽;林家勇;刘佳慧;吴土祥 |
分类号 |
C23C16/40(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/40(2006.01)I |
代理机构 |
广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
代理人 |
陈卫 |
主权项 |
一种玻璃面板镀膜层,其特征在于,包括玻璃面板,在玻璃面板上的氧化铝薄膜。 |
地址 |
510275 广东省广州市新港西路135号 |