一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统

摘要

本发明提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置包括动力机构和遮挡机构，动力机构用于带动遮挡机构变换不同位置，遮挡机构用于遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。

主权项

一种遮挡装置，包括动力机构和遮挡机构，其特征在于，所述动力机构用于带动所述遮挡机构变换不同位置，所述遮挡机构用于遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。