| 发明名称 | 光致抗蚀剂组合物和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供新型光致抗蚀剂，其适用于多种应用，包括负色调显影方法。优选抗蚀剂包含第一聚合物，其包含(i)第一单元，其包含有包含酸不稳定基团之含氮部分；以及(ii)第二单元，其(1)包含一或多个疏水性基团，和(2)与第一单元不同。 | ||
| 申请公布号 | CN106094431A | 申请公布日期 | 2016.11.09 |
| 申请号 | CN201610246711.6 | 申请日期 | 2016.04.20 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 | 发明人 | E-H·柳;M-K·蒋;C-Y·洪;D-Y·金;D-J·洪;H-J·林;M-Y·金;H·全 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂组合物，其包含：(a)第一聚合物，其包含：(i)第一单元，其包含含氮部分，所述含氮部分包含酸不稳定基团；(ii)第二单元，其(1)包含一或多个疏水性基团并且(2)与所述第一单元不同；(b)一或多种酸产生剂。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||