基板角度对准装置、基板角度对准方法及基板运送方法

摘要

角度对准装置（3）包括将多个基板（100）的每个以横放的状态在上下方向并列地保持的多个保持部（10A～E）、包含多个第一支持部（11A～E）的第一升降体（21A～E）、以及包含多个第二支持部（12A～E）的第二升降体（22A～E）。在依次选择基板的同时重复进行如下一系列的角度对准动作：使多个保持部（10A～E）一体旋转而对选择的一片基板（100）进行角度对准，使与角度对准完的基板（100）对应的第一支持部（11A～E）上升并用该第一支持部（11A～E）抬起该基板（100）。使多个第二支持部（12A～E）一起上升，支持在多个第一支持部（11A～E）的每个上的角度对准完毕的多片基板（100Z）的每个由多个第二支持部（12A～E）的每个抬起。

主权项

一种基板角度对准装置，所述基板角度对准装置包括：多个保持部，所述多个保持部将多片基板的每片以横放状态在上下方向并列的形式保持；旋转驱动部，所述旋转驱动部使所述保持部一体旋转；第一升降体，所述第一升降体包括与所述多个保持部的每个对应的多个第一支持部，使该多个第一支持部在第一退避位置和第一支持位置之间升降，所述第一退避位置在保持于对应的保持部上的基板的下方，所述第一支持位置比所述对应的保持部靠上方；第二升降体，所述第二升降体包括与所述多个保持部和所述多个第一支持部的每个对应的多个第二支持部，使该多个第二支持部在第二退避位置和第二支持位置之间一起升降，所述第二退避位置在保持于对应的保持部上的基板的下方，所述第二支持位置比对应的第一支持部的所述第一支持位置靠上方；以及升降驱动部，所述升降驱动部驱动所述第一升降体和所述第二升降体。