一种LED用砷化镓衬底减薄工艺中的贴片方法

摘要

一种LED用砷化镓衬底减薄工艺中的贴片方法，包括以下步骤（1）将研磨工件擦拭干净；（2）将双面膜背面贴在研磨工件上；（3）将待减薄砷化镓衬底研磨面朝上贴在双面膜正面；（4）将贴好砷化镓衬底的研磨工件加热；（5）在研磨工件上放置无尘纸以保护衬底表面，加压；（6）停止加压后，对砷化镓衬底进行减薄作业；（7）减薄作业完毕并清洗干净后，加热研磨工件至双面膜无粘性；（8）取下砷化镓衬底，清洗去除砷化镓衬底正面的残留粘着物。该方法原材料消耗少，步骤简单，操作简便，防止了有机蜡加热贴片时对环境所造成的蜡蒸汽污染，避免了蜡蒸汽对作业员工的危害，可有效减少衬底碎裂，提高衬底减薄厚度的均匀性和产品良率，衬底减薄后易清洗。

主权项

一种LED用砷化镓衬底减薄工艺中的贴片方法，其特征是：包括如下步骤：(1)用蘸有无水乙醇的无尘纸将研磨工件擦拭干净；(2)将双面膜背面平整贴在研磨工件上所要贴片的一面；(3)将待减薄砷化镓衬底研磨面朝上均匀贴在双面膜正面，按压砷化镓衬底，使其粘附在双面膜上；(4)将贴好砷化镓衬底的研磨工件加热至100‑200℃，按压砷化镓衬底10‑60秒；(5)在研磨工件上放置无尘纸以保护衬底表面，在压力0.1‑1.0MPa下加压1‑5分钟；(6)停止加压后，去除无尘纸，对砷化镓衬底进行减薄作业；(7)减薄作业完毕并清洗干净后，加热研磨工件至双面膜无粘性；(8)取下砷化镓衬底，清洗去除砷化镓衬底正面的残留粘着物。