膜厚的检测装置

摘要

本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括公共单元与检测单元，公共单元包括至少一个公共电极，其中，该检测单元包括：至少一个传感器芯片，各传感器芯片与公共单元在第一方向上相对且间隔设置，公共单元与各传感器芯片之间的间隔构成待测膜的传输通道，各传感器芯片包括至少一行沿第二方向排列的多个检测电极，第二方向与待测膜的移动方向垂直，第一方向与第一平面垂直，第一平面与第二方向平行，各传感器芯片用于感应公共电极上的电信号并输出；信号处理单元，与各传感器芯片电连接，对各传感器芯片输出的电信号进行处理并输出。该检测装置能够灵活调整膜厚的检测装置的精确度，能够获得更高的检测精度。

主权项

一种膜厚的检测装置，包括公共单元与检测单元，所述公共单元包括至少一个公共电极，其特征在于，所述检测单元包括：至少一个传感器芯片，各所述传感器芯片与所述公共单元在第一方向上相对且间隔设置，所述公共单元与各所述传感器芯片之间的间隔构成待测膜的传输通道，各所述传感器芯片包括至少一行沿第二方向排列的多个检测电极，所述第二方向与待测膜的移动方向垂直，所述第一方向与第一平面垂直，所述第一平面与所述第二方向平行，各所述传感器芯片用于感应所述公共电极上的电信号并输出；以及信号处理单元，与各所述传感器芯片电连接，对各所述传感器芯片输出的电信号进行处理并输出。