半导体装置以及具有该半导体装置的显示装置

摘要

提供一种具有晶体管的半导体装置。该晶体管包括栅电极、栅电极上的第一绝缘膜、第一绝缘膜上的第二绝缘膜、第二绝缘膜上的氧化物半导体膜、与氧化物半导体膜电连接的源电极和漏电极、源电极上的第三绝缘膜以及漏电极上的第四绝缘膜。在晶体管上设置有包括氧的第五绝缘膜。第三绝缘膜包括第一部分，第四绝缘膜包括第二部分，第五绝缘膜包括第三部分。在利用热脱附谱分析法测量时，第一部分和从第二部分释放的氧分子的量少于从第三部分释放的氧分子的量。

主权项

一种半导体装置，包括：在第一绝缘膜上的氧化物半导体膜；与所述氧化物半导体膜电连接的源电极及漏电极；在所述源电极上包括第一部分的第二绝缘膜；在所述漏电极上包括第二部分的第三绝缘膜；以及在所述第二绝缘膜、所述第三绝缘膜及所述氧化物半导体膜上包括第三部分的第四绝缘膜，其中，在热脱附谱分析中从所述第一部分释放的氧分子的第一量及从所述第二部分释放的氧分子的第二量都小于从所述第三部分释放的氧分子的第三量。