粒子光学系统及布置，以及用于这种系统及布置的粒子光学组件

摘要

本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。

主权项

一种带电粒子多小波束系统，包含：带电粒子的源(301)；具有多个孔径的第一多孔径板(320)，其布置在所述系统(1)的带电粒子束路径(13)中所述源(301)的下游；第一多孔径选择器板(313)，具有多个孔径(315)；载体(340)，其中所述第一多孔径选择器板(313)安装在所述载体(340)上；致动器(350)，构造为移动所述载体(340)，使得在所述系统(1)的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板(313)布置在所述系统(1)的带电粒子束路径(13)中所述源(301)的下游，并且使得在所述系统(1)的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板(313)布置在所述带电粒子束路径(13)之外；聚焦透镜(102)，其布置在所述第一多孔径板(320)和所述第一多孔径选择器板(313)二者下游的束路径中；载台，用于将物体(7)安装在位于所述聚焦透镜(102)下游的物平面(101)中；以及具有孔径的场分离电极(103)，其布置在所述聚焦透镜(102)下游且在所述物平面(101)上游的带电粒子束路径中；其中，所述源(301)、所述第一多孔径板(320)和所述载体(340)被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板(320)和所述第一多孔径选择器板(313)二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束(3)，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束(3)，其中小波束(3)的第一数量与小波束(3)的第二数量不同；其中，所述场分离电极(103)的孔径具有一直径(De)，使得其在所述第一操作模式中由所述第一数量的小波束(3)穿过，而在所述第二操作模式中由所述第二数量的小波束(3)穿过；并且其中，所述场分离电极与所述物平面(101)的距离(d)小于2.0mm、1.2mm、0.8mm、0.5mm、0.3mm或0.2mm，以及/或者其中所述场分离电 极(103)的孔径的直径小于2.0mm、1.5mm、1.0mm、0.8mm、0.6mm和0.4mm中的一个。