一种MEMS惯性传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种MEMS惯性传感器及其制造方法，质量块包括第一绝缘层，以及设置在第一绝缘层上并相互绝缘的至少一个第一可动电极组、至少一个第二可动电极组，在所述衬底上还设置有共用固定电极组；其中，所述第一可动电极组、第二可动电极组作为两个检测电极，共用固定电极组作为共用电极，共同构成了差分电容结构。本发明的MEMS惯性传感器，差分电容结构的两个检测电极为质量块的可动结构，差分电容结构的共用电极锚定在衬底上，这就可以有效地减小检测电极对地的寄生电容，从而可以有效地提高输出信号的精度；而由于共用电极上加载的是调制信号，即使共用电极对地的寄生电容比较大，也不会影响到芯片的性能。

主权项

一种MEMS惯性传感器，其特征在于：包括衬底(1)，以及与衬底(1)共同围成密闭容腔的盖体(3)，在所述密闭容腔内还包括通过锚点悬置在衬底(1)上方的质量块，所述质量块包括第一绝缘层(7)，以及设置在第一绝缘层(7)上的至少一个第一可动电极组(4)、至少一个第二可动电极组(5)，所述第一可动电极组与第二可动电极组之间互相绝缘；在所述衬底(1)上还设置有共用固定电极组(6)；其中，所述第一可动电极组(4)、第二可动电极组(5)作为两个检测电极，共用固定电极组(6)作为共用电极，共同构成了差分电容结构。