发明名称 |
一种手机面板多层镀膜层及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及玻璃基板的多层镀膜的技术领域,更具体地,涉及一种手机面板多层镀膜层及其制备方法。本发明提供了一种在玻璃基板上制备高透、耐磨的多层膜技术,其中具体包括玻璃基板,氧化镁多晶种子层,氧化铝高硬耐磨镀膜层,氧化钛/氧化铝叠层增透层;本发明1)采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术可大面积,均匀成膜,2)通过多晶缓冲层设计,在较低成膜温度下外延生长微晶非晶混合结构的高硬氧化铝镀膜;3)通过氧化铝/氧化钛/氧化铝叠层增加透过率。 |
申请公布号 |
CN106086813A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201610442789.5 |
申请日期 |
2016.06.17 |
申请人 |
中山大学;深圳业际光电有限公司 |
发明人 |
裴艳丽;林家勇;刘佳慧;吴土祥 |
分类号 |
C23C16/40(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/40(2006.01)I |
代理机构 |
广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
代理人 |
陈卫 |
主权项 |
一种手机面板多层镀膜层,其特征在于,包括玻璃基板、形成与其上的氧化镁种子层、氧化铝层,其上的氧化钛/氧化铝多层增透层。 |
地址 |
510275 广东省广州市新港西路135号 |