发明名称 一种半导体激光器的制备方法
摘要 一种半导体激光器的制备方法,所述方法包括如下步骤:a、将衬底表面处理干净;b、在清洁的衬底表面利用干法刻蚀或湿法刻蚀工艺制备锥状n型欧姆接触层;c、在n型欧姆接触层表面制备n型限制层;d、在n型限制层表面制备本征层;e、在本征层表面制备p型限制层;f、在p型限制层表面制备p型欧姆接触层。本发明发光面积大、发光角度可调、效率高。
申请公布号 CN106099641A 申请公布日期 2016.11.09
申请号 CN201610534175.X 申请日期 2016.07.08
申请人 燕山大学 发明人 郭经纬;武晓琴;刘妍;徐朝鹏;王海燕
分类号 H01S5/30(2006.01)I;H01S5/323(2006.01)I 主分类号 H01S5/30(2006.01)I
代理机构 秦皇岛一诚知识产权事务所(普通合伙) 13116 代理人 李合印
主权项 一种半导体激光器的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:a、在清洁的衬底表面制备锥状n型欧姆接触层;b、在n型欧姆接触层表面制备n型限制层;c、在n型限制层表面制备本征层;d、在本征层表面制备p型限制层;e、在p型限制层表面制备p型欧姆接触层。
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