发明名称 |
一种半导体激光器的制备方法 |
摘要 |
一种半导体激光器的制备方法,所述方法包括如下步骤:a、将衬底表面处理干净;b、在清洁的衬底表面利用干法刻蚀或湿法刻蚀工艺制备锥状n型欧姆接触层;c、在n型欧姆接触层表面制备n型限制层;d、在n型限制层表面制备本征层;e、在本征层表面制备p型限制层;f、在p型限制层表面制备p型欧姆接触层。本发明发光面积大、发光角度可调、效率高。 |
申请公布号 |
CN106099641A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201610534175.X |
申请日期 |
2016.07.08 |
申请人 |
燕山大学 |
发明人 |
郭经纬;武晓琴;刘妍;徐朝鹏;王海燕 |
分类号 |
H01S5/30(2006.01)I;H01S5/323(2006.01)I |
主分类号 |
H01S5/30(2006.01)I |
代理机构 |
秦皇岛一诚知识产权事务所(普通合伙) 13116 |
代理人 |
李合印 |
主权项 |
一种半导体激光器的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:a、在清洁的衬底表面制备锥状n型欧姆接触层;b、在n型欧姆接触层表面制备n型限制层;c、在n型限制层表面制备本征层;d、在本征层表面制备p型限制层;e、在p型限制层表面制备p型欧姆接触层。 |
地址 |
066004 河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号 |