弹性波滤波器装置

摘要

本发明提供一种在通带内不易产生梳型电容电极中的弹性波的各模式的寄生成分且生产率优异的弹性波滤波器装置。一种声表面波滤波器装置，是具有依次层叠有高声速部件(5)、低声速膜(6)、压电膜(7)以及IDT电极(8)的构造的滤波器，其中，在上述压电膜(7)上设置有与滤波器电连接的梳型电容电极(10)。将由所述梳型电容电极(10)的电极指间距决定的波长设为λc，在所述梳型电容电极(10)中产生的声表面波的模式中，将P+SV波的声速设为V_C‑(P+SV)，将SH波的声速设为V_C‑SH，将SH波的高阶模中的位于最低的频率侧的高阶模的声速设为V_C‑HO，此时，V_c‑(P+SV)＜V_C‑SH＜V_c‑HO，将所述滤波器的低频侧的截止频率设为f_F‑L，将高频侧的截止频率设为f_F‑H，将在所述梳型电容电极(10)中产生的声表面波的传播方向用相对于压电膜的结晶的欧拉角表示为(0°，θ，ψ)，此时，对于任意的θ和ψ，设为V_C‑(P+SV)/λ_C＜f_F‑L且V_C‑SH/λ_C＞f_F‑H，或者设为V_C‑SH/λ_C＜f_F‑L且V_C‑HO/λ_C＞f_F‑H。

主权项

一种弹性波滤波器装置，具备：高声速部件；低声速膜，层叠在所述高声速部件上；压电膜，层叠在所述低声速膜上；IDT电极，形成在所述压电膜上，构成滤波器；以及梳型电容电极，形成在所述压电膜上，与所述滤波器电连接，在所述高声速部件中传播的体波的声速比在所述压电膜中传播的体波的声速高，在所述低声速膜中传播的体波的声速比在所述压电膜中传播的体波的声速低，将由所述梳型电容电极的电极指间距决定的波长设为λc，在所述梳型电容电极中产生的弹性波的模式中，将P+SV波的声速设为V_C‑(P+SV)，将SH波的声速设为V_C‑SH，将SH波的高阶模中的位于最低频率侧的高阶模的声速设为V_C‑HO，此时，V_C‑(P+SV)＜V_C‑SH＜V_C‑HO，将所述滤波器的低频侧的截止频率设为f_F‑L，将高频侧的截止频率设为f_F‑H，将在所述梳型电容电极中产生的弹性波的传播方向用相对于压电膜的结晶的欧拉角表示为(0°，θ，ψ)，此时，对于任意的θ和ψ，设为V_C‑(P+SV)/λ_C＜f_F‑L且V_C‑SH/λ_C＞f_F‑H，或者设为V_C‑SH/λ_C＜f_F‑L且V_C‑HO/λ_C＞f_F‑H。