发明名称 電磁アクチュエータ、支持体、およびリソグラフィ装置
摘要 An electromagnetic actuator includes a coil assembly including a coil; a magnet assembly including a first and a second magnet unit, each magnet unit including a magnetic yoke and a plurality of permanent magnets mounted to the magnetic yoke, the first and second magnet unit forming a magnetic circuit for receiving the coil assembly and, upon energizing the coil, generating a force in a first direction; and a holder for holding the magnet units, wherein a weight ratio of the magnet assembly over the coil assembly is smaller than the weight ratio of the magnet assembly over the coil assembly when the ratio of force over electrical power is maximized.
申请公布号 JP6023334(B2) 申请公布日期 2016.11.09
申请号 JP20150527860 申请日期 2013.08.15
申请人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 发明人 コックス,ヘンリカス,ヘルマン,マリエ;へーレン,マーク,マルカス,ゲラルドス;ハイマンス,ピーター,ミシェル,シルベスター,マリア;フェルテン,ヤコブ ヤン;ヴァン デ リフト,ヨハネス,ヒューベルタス,アントニウス;ギーレン,ゴドフリード,カタリナ,ヒューベルタス,フランシスカス;ケシュラウド,アブデルハミド
分类号 H02K33/18;G03F7/20;H01L21/68 主分类号 H02K33/18
代理机构 代理人
主权项
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