双层石英槽

摘要

本发明涉及双层石英槽，包括清洗槽、防护槽、主排阀、侧排阀，其特征在于防护槽位于清洗槽上部外围，防护槽一侧底部设置有侧排阀，清洗槽底部设置有主排阀，主排阀外接负压设备，清洗槽、防护槽同轴，清洗槽高于防护槽。实际使用时，由于清洗槽外围设置有防护槽，因此注入清洗液的时候可以通过增加注液压力实现快速放清洗液的目的，多余的清洗液会经清洗槽顶部流到防护槽间，所以可以适当增加单位净流入量从而减不注液时间，提高工作效率。本发明结构简单，使用方便。

主权项

双层石英槽，包括清洗槽、防护槽、主排阀、侧排阀，其特征在于防护槽位于清洗槽上部外围，防护槽一侧底部设置有侧排阀，清洗槽底部设置有主排阀，主排阀外接负压设备，清洗槽、防护槽同轴，清洗槽高于防护槽。