一种高精度振弦式微压传感器

摘要

本发明公开了一种高精度振弦式微压传感器，包括壳体、连接电缆的电缆接头、感应线圈、微压敏感部件、设有中心孔的内部堵盖、透水部件，壳体一端连接电缆接头，另一端连接透水部件，感应线圈、微压敏感部件、内部堵盖设于壳体内部并依次连接；微压敏感部件包括上端头、主体、波纹管、下端头、真空膜盒、钢弦，上端头、主体、波纹管和下端头依次连接并形成密封腔体，钢弦设于密封腔体内，真空膜盒与下端头连接。通过将微压敏感部件封装在壳体内部，防止微压敏感部件受到外界影响而损坏，提高传感器的稳定性，并解决了无法实现极限微压及高精度的问题；通过将柔性不锈钢波纹管与真空膜盒相结合提高测值精度。

主权项

一种高精度振弦式微压传感器，包括壳体、连接电缆的电缆接头、感应线圈、微压敏感部件、设有中心孔的内部堵盖、透水部件，所述壳体一端连接电缆接头，另一端连接透水部件，所述感应线圈、微压敏感部件、内部堵盖设于壳体内部，所述电缆接头、感应线圈、微压敏感部件和内部堵盖依次连接；其特征在于所述微压敏感部件包括上端头、主体、波纹管、下端头、真空膜盒、钢弦，所述上端头、主体、波纹管和下端头依次连接，并形成密封腔体，所述钢弦设于密封腔体内，所述真空膜盒与下端头连接。