发明名称 | 一种薄膜图案及形成方法、显示装置 | ||
摘要 | 本发明提供了一种薄膜图案及形成方法、显示装置,涉及显示技术领域,该方法无需采用转印和刻蚀即可形成薄膜图案,工艺简单,生产成本低、时间短;还可避免因多次转印产生的误差,提高薄膜图案的精度。该形成方法包括:将具有薄膜层的衬底基板与具有图案的压印模板接触,薄膜层的材料的熔点/软化点小于衬底基板的衬底和压印模板的材料的熔点/软化点;在加热条件下,采用压印模板对薄膜层进行压印,加热温度能够使得薄膜层软化或变为液态、衬底基板的衬底和压印模板保持原有状态;对压印后的压印模板和薄膜层降温,使得液态的薄膜层固化形成薄膜图案;将压印模板和形成有薄膜图案的衬底基板分离。本发明适用于薄膜图案的制作。 | ||
申请公布号 | CN106094426A | 申请公布日期 | 2016.11.09 |
申请号 | CN201610452270.5 | 申请日期 | 2016.06.21 |
申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 张斌;周婷婷;何晓龙;孙雪菲 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
主权项 | 一种薄膜图案的形成方法,其特征在于,所述方法包括:将具有薄膜层的衬底基板与具有图案的压印模板接触,其中,所述薄膜层的材料的熔点/软化点小于所述衬底基板的衬底和所述压印模板的材料的熔点/软化点;在加热条件下,采用所述压印模板对所述薄膜层进行压印,其中,加热温度能够使得所述薄膜层软化或变为液态、同时所述衬底基板的衬底和所述压印模板保持原有状态;对压印后的所述压印模板和所述薄膜层进行降温,以使得液态的所述薄膜层固化形成薄膜图案;将所述压印模板和形成有薄膜图案的所述衬底基板相分离。 | ||
地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |