一种用于极紫外光刻机的动态气体锁

摘要

本发明公开了一种动态气体锁，特别适用于极紫外光刻机。动态气体锁的主体为筒状，具有两个开口端，其轴向的中部位置具有一隔板将内部空间隔成两个腔室。隔板上开有外气流通道连通两个腔室。外气流通道侧面的隔板内有内气流通道，清洁气体由充气装置进入，通过内、外气流通道分别流入两个腔室。本发明能有效地隔离极紫外光刻机中超清洁真空环境和清洁真空环境，抑制污染气体分子由清洁真空环境向超清洁真空环境扩散。

主权项

一种动态气体锁，用于将两个空间连通的部件进行气体隔离，包括主体、充气装置和密封连接机构，其中，所述主体(1)为筒状，具有两个开口端，连接两个开口端的方向为轴向，垂直于轴向的方向为侧向；所述主体(1)在其轴向的中部位置具有隔板(11)、该隔板(11)将筒状的内部空间隔成两个腔室；所述隔板(11)上开有外气流通道(12)，其连通所述两个腔室；在所述隔板(11)内并在所述外气流通道(12)的侧面，沿所述主体的侧向开有内气流通道(13)，所述内气流通道(13)连接所述充气装置；所述充气装置经由所述内气流通道(13)和外气流通道(12)向主体内部通入清洁气体；所述密封连接机构用于将所述主体的两个开口端与需要进行气体隔离的部件密封连接。