发明名称 |
背照式全局曝光像素单元结构及制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种背照式全局曝光像素单元结构及制造方法,像素单元结构包括位于上部的衬底和位于下部的介质结构,衬底中形成有多个光电二极管;介质结构中从上向下依次形成有传输管栅极多晶层、挡光块层和存储电容,挡光块层用于阻挡穿透所述光电二极管的光线。因此,本发明不仅可以避免入射光对信号存储电容中电荷信号的影响,增加存储电容的电容值,降低读出噪声,还可以增加像素单元中用于感光的光电二极管的面积,提高全局曝光像素单元的灵敏度,使图像传感器最终能得到高质量的图像。 |
申请公布号 |
CN106098714A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201610398576.7 |
申请日期 |
2016.06.07 |
申请人 |
上海集成电路研发中心有限公司;成都微光集电科技有限公司 |
发明人 |
顾学强;赵宇航;周伟 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 |
代理人 |
吴世华;尹英 |
主权项 |
一种背照式全局曝光像素单元结构,其特征在于,像素单元结构包括位于上部的衬底和位于下部的介质结构,所述衬底中形成有多个光电二极管;所述介质结构中从上向下依次形成有传输管栅极多晶层、挡光块层和存储电容,所述挡光块层用于阻挡穿透所述光电二极管的光线。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号 |