具有铜/唑类聚合物抑制作用的微电子衬底清洁组合物

摘要

本发明涉及pH>8的半水性、碱性的微电子清洁组合物，包含：(A)至少一种与水接触时会产生氢氧化物的仲链烷醇胺；(B)以乙酸正丁酯的蒸发速率为基准速率1.0计，蒸发速率为0.3或更低的至少一种有机醇醚溶剂；(C)至少一种抑制腐蚀的环状酰胺化合物；(D)占组合物重量的0.08％或更低的至少一种平衡pH的唑类金属腐蚀抑制剂；和(E)水；以及任选的(F)至少一种多羟基酚类类化合物腐蚀抑制剂；和(G)包含邻位羟基或邻位巯基以与多羟基酚类类化合物腐蚀抑制剂进行配对的至少一种多元醇或多元硫醇表面改性剂。

主权项

一种半水性的、pH≥8的碱性微电子清洁组合物，其包含：(A)与水接触时生成氢氧化物的至少一种仲链烷醇胺；(B)当以乙酸正丁酯的蒸发速率为基准速率1.0计，蒸发速率为0.3或更低的至少一种有机醇醚溶剂；(C)至少一种抑制腐蚀的环状酰胺化合物；(D)占该组合物重量的0.08％或更少的至少一种平衡pH的唑类金属腐蚀抑制剂；和(E)水；以及任选的(F)至少一种多羟基酚类化合物腐蚀抑制剂；和(G)至少一种包含邻位羟基或邻位巯基与所述至少一种多羟基酚类化合物腐蚀抑制剂配对的多元醇或多元硫醇表面改性剂，其条件为，如果在所述组合物中存在组分(F)，那么也存在组分(G)，但是所述组合物可以包含组分(G)而不含组分(F)。