一种高精度的物镜齐焦检测设备及检测方法

摘要

本发明涉及光学领域，公开了一种高精度的物镜齐焦检测设备及检测方法，包括机架、标准反射镜标本，托架、物镜连接器、检测中间体、数据处理输出设备等。检测中间体包含投影系统和成像系统，投影系统内的分划板与成像系统中的图像传感器互为共轭关系，当分划板垂直光轴放置时，图像传感器倾斜光轴放置；当分划板倾斜光轴放置时，图像传感器垂直光轴放置；在不同齐焦距离下，图像传感器上的聚焦位置不一致，经数据处理，得到具体的齐焦数值，从而实现齐焦距离检测的目的。该设备结构简单，且观察者在不需要更换机架的情况下可以对不同类别物镜进行齐焦检测，从而实现简易主体具有多种模式检测的功能，极大程度提高产品的通用性。

主权项

一种高精度的物镜齐焦检测设备，包括机架、托架、底座、物镜连接器、检测中间体、标准反射镜标本和数据处理输出设备；待检物镜固定于所述物镜连接器上，其特征在于：所述机架固定于所述底座上，所述托架固定于所述机架上；所述检测中间体内包括落射明场同轴投影系统和成像系统，所述落射明场同轴投影系统包括依次设置的光源8、照明透镜前片、垂直放置的标准分划板、照明透镜后片和第一半透半反镜；所述成像系统包括依次设置的管镜、反光镜、成像透镜和图像传感器；所述光源对标准分划板实现均匀照明，然后光线经过第一半透半反镜反射后，到达待检物镜，在待检物镜物面位置投影一个标准像，所述标准像经所述标准反射镜标本的反射后，再经过待检物镜、管镜、反光镜、成像透镜后成像在待检物镜的一次像面位置；所述成像系统至少包含一个与待检物镜光轴倾斜的图像传感器，所述图像传感器的中间位置放置于所述的一次像面位置，所述图像传感器的不同位置捕捉从经过待检物镜反射回来的标准像信息或标准像的离焦信息；所述数据处理输出设备通过分析所述标准像信息和所述标准像的离焦信息，经由软件算法，把该信息转化成物镜齐焦位置的误差信息并输出，从而达到检测齐焦距离的目的。