发明名称 |
用于形成非晶体导电性氧化物膜的前体组合物和方法 |
摘要 |
本发明提供一种前体组合物,其用于通过简易的液相工艺来形成显示高导电性、同时即使加热至高温也稳定维持非晶体结构的导电性氧化物膜。本发明的前体组合物含有选自镧系元素(其中,排除铈)的羧酸盐、硝酸盐和硫酸盐中的至少1种,选自钌、铱或铑的羧酸盐、亚硝酰羧酸盐、亚硝酰硝酸盐和亚硝酰硫酸盐中的至少1种,与含有选自羧酸、醇和酮中的至少1种的溶剂。 |
申请公布号 |
CN102971807B |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201180034573.0 |
申请日期 |
2011.07.08 |
申请人 |
独立行政法人科学技术振兴机构 |
发明人 |
下田达也;李金望 |
分类号 |
H01B13/00(2006.01)I;C01G55/00(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/288(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
H01B13/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
庞立志;孟慧岚 |
主权项 |
非晶体导电性氧化物膜形成用组合物,其特征在于,含有选自排除铈的镧系元素的羧酸盐、硝酸盐和硫酸盐中的至少1种,选自钌、铱或铑的羧酸盐、亚硝酰羧酸盐、亚硝酰硝酸盐和亚硝酰硫酸盐中的至少1种,与含有选自羧酸、醇和酮中的至少1种的溶剂,其中,上述溶剂为非水系溶剂。 |
地址 |
日本埼玉县 |