基板镀敷夹具用衬垫及利用它的基板镀敷夹具

摘要

本发明的问题是提供一种在成本方面比O型环有利，并能够对各种尺寸和形状的基板夹具进行应对的基板镀敷夹具用衬垫以及利用这种基板镀金夹具用密封件的基板镀敷夹具，所述镀敷夹具用衬垫安装在镀敷夹具上，用于将对基板通电的通电部件和通电部件所连接的基板表面部分密封而不接触镀敷液，并具备：由长条有端的弹性部件构成的衬垫主体；和将所述衬垫主体的两个端部的连接端彼此连接固定而成为无端状的连接部件，所述连接部件由轴部和以规定角度从轴部突出配设的多个钩构成，所述连接部件在衬垫主体内内置配设为，当连接衬垫主体的两个连接端时，跨过所连接的连接端的接缝并在规定范围内从接缝延伸至双方的衬垫主体内。

主权项

一种基板镀敷夹具用衬垫，其安装在镀敷夹具上，用于将对基板通电的通电部件和该通电部件所连接的基板表面部分密封而不接触镀敷液，所述基板镀敷夹具用衬垫包括：由长条有端的弹性部件构成的衬垫主体；和用于将所述衬垫主体的两个端部的连接端彼此连接而成为无端状的连接部件，所述连接部件由轴部和以规定角度向所述轴部的两侧或单侧一方突出而配设的多个钩构成，所述连接部件在衬垫主体内内置配设为，当连接衬垫主体的两个连接端时，跨过所连接的连接端的接缝并在规定范围内从连接端延伸至双方的衬垫主体内。