发明名称 |
全自动多功能清洗机 |
摘要 |
本发明涉及全自动多功能清洗机,包括机体、横移电机、电机座、升降电机、加热器、石英槽、排风法兰、机械臂、照明系统,加热器优选石英外壁。石英槽为6个,其中第2、4、6个为快排清洗槽。石英槽中的快排清洗槽内设置快速喷淋及冲洗系统。本发明是一种可以自动补充进液与排液,由机械臂执行运输及工艺切换的自动化设备。由于机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接,因此可以通过信息处理终端对各部件进行控制,产品主要通过机械臂来正确地切换工艺流程并保证运输。而且,石英槽为6槽式设计,可以同时满足HF酸洗、硫酸粗洗、硫酸精洗的要求。 |
申请公布号 |
CN106076939A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201610554749.X |
申请日期 |
2016.07.15 |
申请人 |
苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司 |
发明人 |
袁树明;韦建晶 |
分类号 |
B08B3/02(2006.01)I;B08B11/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C30B33/00(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
全自动多功能清洗机,包括机体、横移电机、电机座、升降电机、加热器、石英槽、排风法兰、机械臂、照明系统,其特征在于照明系统位于机体上部,照明系统下方设置有机械臂,所述机械臂前方为夹爪部分,后方为支撑部分,机械臂的支撑部分下端固定在升降电机输出端上,升降电机设置在电机座上,电机座与横移电机连接,横移电机设置在机体下部的槽形轨道上,机械臂的夹爪部分下面设置有石英槽,石英槽为并列的多个,石英槽下方设置有加热器,机体上与石英槽上表面等高位置设置有排风法兰,机体通过排风法兰连接机体内外空间,机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接。 |
地址 |
215021 江苏省苏州市高新区前桥路299号 |