发明名称 |
一种发光二极管外延片 |
摘要 |
本实用新型公开了一种发光二极管外延片及其制备方法,属于光电领域。外延片由基板至表层包括第一缓冲层、石墨烯层、第二缓冲层和外延结构层;所述外延结构层从第二缓冲层至表层由N型半导体层、多重量子阱层、P型电子阻挡层和P型半导体层所构成。与传统氮化镓基外延片结构相比,加入石墨烯层可实现利用机械方式将氮化镓基外延结构层从基板上剥离,无须采用激光设备,更可提高剥离良率;与其它利用转移方式,将石墨烯层置于基板上的技术相比,本实用新型使用的石墨烯层和基板之间有缓冲层连接,无石墨烯层和基板附着性不佳的问题。 |
申请公布号 |
CN205680699U |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201620467312.8 |
申请日期 |
2016.05.19 |
申请人 |
芜湖德豪润达光电科技有限公司 |
发明人 |
陈铭胜;武良文 |
分类号 |
H01L33/12(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/12(2010.01)I |
代理机构 |
广东朗乾律师事务所 44291 |
代理人 |
杨焕军 |
主权项 |
一种发光二极管外延片,其特征在于:所述外延片由基板至表层包括第一缓冲层、石墨烯层、第二缓冲层和外延结构层;所述外延结构层从第二缓冲层至表层由N型半导体层、多重量子阱层、P型电子阻挡层和P型半导体层所构成。 |
地址 |
241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东区纬二次路11号 |