Etching composition for slope-type etching apparatus and etching method using the same

摘要

본 발명은 경사식 에칭장치, 예를 들어 경사식 기판처리장치를 이용한 에칭과정에서 기판 전체에 대해 균일한 에칭성능을 발휘할 수 있는 에칭액 조성물 및 이를 이용한 에칭방법에 관한 것이다.