陶瓷载体以及各自具有陶瓷载体的传感器元件、加热元件和传感器模块以及用于制作陶瓷载体的方法

摘要

本发明涉及一种陶瓷载体，尤其是一种Al₂O₃载体，在该载体上安排有由铂或铂合金制成的薄膜结构(10)，其中，该载体和/或该薄膜结构(10)被适配以便减小由于不同的热膨胀系数导致的机械应力。该载体和/或该薄膜结构(10)包括以下各项：e)该载体在该薄膜结构(10)的区域中的表面(11)至少部分是经平滑的以降低粘附性；和/或f)该载体的一个/该表面(11)具有中间层(12)，在该中间层上安排有该薄膜结构(10)，其中，该中间层(12)的热膨胀系数是从8*10^‑6/K至16*10^‑6/K，尤其是从8.5*10^‑6/K至14*10^‑6/K；和/或g)该薄膜结构(10)具有至少部分为波状的至少一个导体路径(13)，所述导体路径沿该载体的一个/该表面(11)横向地延伸，其中，该波状导体路径(13)的振幅是从0.2*B至2*B，尤其是从0.4*B至1*B，并且该波状导体轨道(13)的波长是从3*B至10*B，尤其是从4*B至7*B，其中，“B”为该导体路径(13)的宽度；和/或h)第一涂层(14a)被直接施加到该薄膜结构(10)上，所述涂层包含氧化物纳米颗粒，尤其是Al₂O₃和/或MgO。

主权项

一种陶瓷载体，尤其是一种Al₂O₃载体，在该载体上安排有由铂或铂合金制成的薄膜结构(10)，其中，该载体和/或该薄膜结构(10)被适配成用于减小由于不同的热膨胀系数导致的机械应力，其特征在于，a)该载体在该薄膜结构(10)的区域中的表面(11)至少部分是经平滑的以降低粘附性，和/或b)该载体的一个/该表面(11)具有中间层(12)，在该中间层上安排有该薄膜结构(10)，其中，该中间层(12)的热膨胀系数是从8*10^‑6/K至16*10^‑6/K，尤其是从8.5*10^‑6/K至14*10^‑6/K，和/或c)该薄膜结构(10)具有至少一个导体轨道(13)，该导体轨道至少部分为波状并且该导体轨道沿着该载体的一个/该表面(11)横向地延伸，其中，该波状导体轨道(13)的振幅是从0.2*B至2*B，尤其是从0.4*B至1*B，并且该波状导体轨道(13)的波长是从3*B至10*B，尤其是从4*B至7*B，其中，“B”为该导体轨道(13)的宽度，和/或d)包含氧化物纳米颗粒、尤其是Al₂O₃和/或MgO的氧化物纳米颗粒的第一覆盖层(14a)被直接施加到该薄膜结构(10)上。