发明名称 一种母合金的制备方法
摘要 本发明公开了一种母合金的制备方法,包括步骤:一、坩埚底部涂层制备,过程如下:101、涂层喷涂液配制;102、涂层喷涂液的喷涂量确定:根据需制备母合金铸锭中杂质硼的浓度,并结合坩埚的装料量,对涂层喷涂液的喷涂量进行确定;103、喷涂:采用喷涂设备将涂层喷涂液均匀喷涂至坩埚的内部底面上;104、烘干:采用烘干设备烘干,获得底部涂层;二、母合金熔铸:利用带底部涂层的坩埚,对需制备母合金铸锭进行熔铸。本发明方法步骤简单、设计合理且实现简便、使用效果好,通过在坩埚底部涂覆一层以氮化硼为主要原料的底部涂层,能有效降低坩埚底部氧含量,并能简便、快速完成母合金制备过程,提高母合金铸锭的质量。
申请公布号 CN106087047A 申请公布日期 2016.11.09
申请号 CN201610694945.7 申请日期 2016.08.19
申请人 西安华晶电子技术股份有限公司 发明人 吴增伟;刘波波;蔺文;虢虎平
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B28/06(2006.01)I
代理机构 西安创知专利事务所 61213 代理人 谭文琰
主权项 一种母合金的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、坩埚底部涂层制备,过程如下:步骤101、涂层喷涂液配制:将有机胶结剂、去离子水和氮化硼按1∶(2~2.5)∶(0.8~1.2)的质量比均匀混合,得到涂层喷涂液;步骤102、涂层喷涂液的喷涂量确定:根据需制备母合金铸锭中杂质硼的浓度,并结合坩埚(1)的装料量,对步骤101中所述涂层喷涂液的喷涂量进行确定;步骤103、喷涂:根据步骤102中所确定的喷涂量,采用喷涂设备将步骤101中所述涂层喷涂液均匀喷涂至坩埚(1)的内部底面上;所述坩埚(1)为石英坩埚;步骤104、烘干:将步骤103中所述坩埚(1)水平放置于烘干设备内,并采用所述烘干设备且在80℃~100℃温度条件下对喷涂至坩埚(1)内部底面上的所述涂层喷涂液进行烘干,获得底部涂层(2);步骤二、母合金熔铸:采用多晶硅铸锭炉或熔铸炉,并利用步骤一中带底部涂层(2)的坩埚(1)对所述需制备母合金铸锭进行熔铸。
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