晶圆旋转装置

摘要

本发明提供一种晶圆旋转装置用于晶圆处理设备。晶圆旋转装置包括基座、承载装置、第一轴齿轮、动力单元、滚轮、第二轴齿轮与驱动组件。基座具有容置空间。承载装置配置于容置空间内，且用以容置晶圆。第一轴齿轮配置于基座的侧面。动力单元组装至基座的顶部，其中第一轴齿轮连接动力单元。滚轮位于承载装置下，且承靠晶圆的边缘。第二轴齿轮配置于基座的侧面上，且连接滚轮。驱动组件连接于第一轴齿轮与第二轴齿轮之间。当动力单元提供动力使第一轴齿轮与驱动组件转动时，第二轴齿轮转动以带动滚轮转动，使晶圆转动。

主权项

一种晶圆旋转装置，用于一晶圆处理设备，所述晶圆旋转装置包括：一基座，具有一容置空间；一承载装置，配置于所述容置空间内，且用以容置一晶圆；一第一轴齿轮，配置于所述基座的一侧面上；一动力单元，组装至所述基座的顶部，其中所述第一轴齿轮连接所述动力单元；一滚轮，位于所述承载装置下，且承靠所述晶圆的边缘；一第二轴齿轮，配置于所述侧面上，且连接所述滚轮；以及一驱动组件，连接于所述第一轴齿轮与所述第二轴齿轮之间，其中，当所述动力单元提供动力使所述第一轴齿轮与所述驱动组件转动时，所述第二轴齿轮转动以带动所述滚轮转动，使所述晶圆转动。